半导体切割刀片|晶圆切割刀|晶圆划片刀|划片机刀片|电镀软刀-深圳西斯特

在熔點(diǎn)超過(guò)2000℃的氧化物中，氧化鋁陶瓷是應(yīng)用最廣、用途最寬、產(chǎn)量最大的陶瓷材料。主要應(yīng)用在：航空航天、汽車(chē)、消費(fèi)品加工、半導(dǎo)體（廣泛用于多層布線陶瓷基片、電子封裝及高密度封裝基片）、刀具、球閥、磨輪、陶瓷釘、軸承、人工骨、人工關(guān)節(jié)、人工牙齒等領(lǐng)域。

氧化鋁化學(xué)式Al2O3，是一種高硬度的化合物，熔點(diǎn)為2054℃，沸點(diǎn)為2980℃。普通型氧化鋁陶瓷按Al2O3含量不同可分為99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等。工業(yè)氧化鋁是由鋁礬土（Al2O3·3H2O）和硬水鋁石制備的，對(duì)于純度要求高的Al2O3，一般用化學(xué)方法和高溫?zé)Y(jié)。

Al2O3有許多異同質(zhì)異晶體，目前已知的有10多種，主要有3種晶型，即α-Al2O3、β-Al2O3、γ-Al2O3。其中結(jié)構(gòu)不同性質(zhì)也不同，在1300℃以上的高溫時(shí)幾乎完全轉(zhuǎn)化為α-Al2O3。

由于氧化鋁陶瓷硬度高、材料比較脆，容易產(chǎn)生崩缺。在使用金剛石砂輪刀片切割過(guò)程中應(yīng)注意以下幾點(diǎn)：

1. 膠膜選擇：選用膠層薄，粘合力強(qiáng)的膜固定；

2. 冷卻水：切割過(guò)程會(huì)產(chǎn)生高溫，注意調(diào)整冷卻水流量和角度

3. 刀片修刀：新刀上機(jī)和切割過(guò)程中需要及時(shí)修刀，確保刀片的鋒利性，避免刀片切削力不足導(dǎo)致產(chǎn)品崩缺；

4. 切割速度：切割速度設(shè)定一般為5-8mm/s，進(jìn)給過(guò)快容易產(chǎn)生崩缺。

氧化鋁陶瓷基板切割可根據(jù)不同要求選用電鍍軟刀、金屬軟刀、樹(shù)脂軟刀，下面是金屬軟刀實(shí)測(cè)案例。