半导体切割刀片|晶圆切割刀|晶圆划片刀|划片机刀片|电镀软刀-深圳西斯特

服務電話:400-6362-118
減薄對后續晶圓劃切的影響
發布時間:2025-05-19 點擊數:295


 

前言

在半導體制造的前段制程中,晶圓需要具備足夠的厚度,以確保其在流片過程中的結構穩定性。盡管芯片功能層的制備僅涉及晶圓表面幾微米范圍,但完整厚度的晶圓更有利于保障復雜工藝的順利進行,直至芯片前制程完成后,晶圓才會進入封裝環節進行減薄處理。

  

晶圓為什么要減薄 

 

封裝階段對晶圓進行減薄主要基于多重考量。

 

從劃片工藝角度,較厚晶圓硬度較高,在傳統機械切割時易出現劃片不均、裂片等問題,顯著提升不良率;而減薄后的晶圓硬度降低,能夠實現更精準、高效的分離,大幅提升劃片質量與效率。

隨著電子設備向輕薄化方向發展,封裝厚度已成為關鍵指標,尤其在芯片堆疊技術中,晶圓減薄能夠有效降低整體封裝厚度,滿足可穿戴設備、移動終端等微型電子產品的需求。

 

同時,晶圓制造過程中背面形成的氧化層會影響芯片鍵合質量,減薄工藝可有效去除氧化層,為鍵合提供潔凈、平整的表面,確保電氣連接的可靠性。

 

此外,減薄能夠縮短芯片工作時的熱量傳導路徑,加速散熱,避免因高溫導致的性能衰退與壽命縮短,提升芯片長期運行的穩定性。

  

不同封裝對減薄厚度的要求存在差異 

 

引線鍵合(Wire Bond)封裝,典型厚度為100-200微米;

 

傳統封裝(如QFPDIP等)對厚度要求相對寬松,通常將晶圓減薄至約300微米;

 

BGA封裝,減薄范圍在100-200微米,這樣的厚度可以適應球柵的布局和高度要求,同時也能保證芯片與基板之間的電氣連接和機械穩定性;

 

CSP封裝,晶圓減薄厚度一般要求在 50 - 100 微米之間。由于 CSP 封裝直接將芯片與基板連接,較薄的晶圓可以減少芯片與基板之間的應力,提高封裝的可靠性,同時也有助于降低信號傳輸延遲,滿足小型化和高性能的要求。

 

先進的疊層封裝中,芯片厚度甚至可薄至30微米以下,以滿足高密度集成需求。

 

 

晶圓減薄工藝 

 

晶圓減薄工藝一般采用機械研磨、化學機械拋光(CMP)等方法。其具體流程涵蓋前期準備、減薄操作(例如粗磨、精磨和拋光)以及后期處理(如清理殘留物、測量平坦度和質量檢測)。

 

在實際晶圓減薄生產中,多采用組合工藝來確保加工精度與效率。例如,若需將硅片從初始厚度減薄至120μm,可先通過高效的粗磨磨削工藝去除大部分材料,將硅片厚度削減至140μm左右。此時,硅片表面因磨削產生損傷層與殘余應力,就需要根據后續產品性能要求,選擇一種或多種工藝進行精細處理,實現晶圓減薄的高效化與高質量化,并確保后續劃切工序的順利進行。

 


 晶圓減薄與劃片工藝的融合 

 

在芯片切割環節,傳統流程是先在晶圓背面粘貼藍膜并固定于鋼制框架(即晶圓黏片工藝),隨后采用機械切割或激光切割進行分離。    

 

隨著工藝創新,先劃片后減薄DBG)與減薄劃片DBT)技術應運而生。

 

DBG工藝先在晶圓正面切割出一定深度的切口,再進行背面磨削。

  

DBT技術則是預先形成切割切口,通過磨削減薄后利用ADPE腐蝕去除剩余材料,實現裸芯片自動分離。這兩種方法有效規避了傳統工藝中減薄導致的硅片翹曲與劃片造成的芯片邊沿損傷問題。

 

其中,DBT技術憑借各向同性硅刻蝕劑,既能消除背面研磨損傷,又能修復芯片微裂與凹槽,大幅提升芯片抗碎裂性能。

 

 

關于粗磨/精磨減薄砂輪以及半切/全切金剛石刀片產品應用,歡迎咨詢西斯特科技。

 


主站蜘蛛池模板: 瑞安网站建设_网站制作_做网站找瑞安联创网络:专业网页制作、手机网站、SEO百度网站关键字优化 软文营销推广-新闻稿发布-软文撰写-百科词条编辑-品牌全案策划推广网络营销传播-喜尚传媒 | 山东货架厂家,重型货架,阁楼货架,钢平台,板材货架-山东智造仓储设备有限公司 | 景德镇市华信物业管理有限公司| 网站建设|营销型网站|独立站搭建|外贸网站建设|wordpress独立站|小程序开发-?无双建站? | 烘干机|烘干房|网带烘干机|滚筒烘干机|炒货机-河南曼瑞通机械有限公司 | 专业提供医疗器械,医疗设备,进口国产医疗设备,医疗耗材采购,医疗设备厂家等医疗器械信息-上海聚慕医疗器械有限公司 | 上海前 傲信息技术有限公司-企业信息化建设及品牌推广服务商 | 气调包装机厂家-真空包装机价格-气调包装机-锁鲜包装机-江苏大江智能装备有限公司 | 激光切管机_等离子切管机_相贯线切管机厂家|服务为先-山东美峰智能设备有限公司 | 酸碱废气中和塔-酸雾废气吸收塔-酸雾废气处理塔|首页-广州市佰镀通风设备有限公司 | 全球环保研究网_生态环境绿色产业咨询部_生态文明建设行业智库 ? | 耐力板厂家_pc耐力板价格_透明耐力板批发-佛山市麦粒建材有限公司 | 起点养生网-分享科学养生保健知识,中医健康养生之道-无锡据风网络科技有限公司 | 纠偏系统厂家-迈欣机械| 柱状_椰壳_蜂窝_果壳_粉状活性炭_活性炭厂家 - 銮桦净化 | 阻垢剂|缓蚀剂|杀菌剂|分散剂|水处理剂|印染助剂|水处理药剂|造纸助剂|膜阻垢剂|缓蚀剂|HEDP|ATMP|螯合剂-山东凯瑞化学有限公司 水处理药剂生产厂家 | 山东正奇塑料机械有限公司,山东塑料机械,水带机组,塑料管材机,山东吹膜机组厂家,山东农膜机厂家 山东长青石油液压机械有限公司-致力于石油机械设备的研发制造,提供定制服务 | 无塔供水_无塔供水设备_全自动_石家庄工泉水处理设备有限公司_家用无塔供水器 | 山东胜王水处理设备有限公司,反渗透设备,纯净水设备,污水处理设备,SWS系列全自动钠离子交换器,纯净水设备报价,活性碳过滤器,多介质过滤器 | 土工布厂家,山东土工布厂家_价格低-山东莱芜「中德利」 | 水暖毯厂家-水暖毯配件-河北鑫政扬家用电器有限公司 | 耐磨锤头|合金锤头|高铬耐磨锤头|破碎机锤头|双金属双液复合锤头_巩义东辰实业 合金耐磨锤头铸造厂 | 机器人码垛机-纸箱套袋机-水平缠绕机-贴标机-开箱机-装盒机-杭州贝立智能设备有限公司 | 手板机箱_亚克力机箱_医疗机箱_美容机箱_医疗设备外壳厂家_鸿堪医疗器械有限公司 | 呼吸家官网|肺功能检测仪生产厂家|国产肺功能仪知名品牌|肺功能检测仪|肺功能测试仪|婴幼儿肺功能仪|弥散残气肺功能仪|肺功能测试系统|广州红象医疗科技有限公司|便携式肺功能仪|大肺功能仪|呼吸康复一体机|儿童肺功能仪|肺活量计|医用简易肺功能仪|呼吸康复系统|肺功能仪|弥散肺功能仪(大肺)|便携式肺功能检测仪|肺康复|呼吸肌力测定肺功能仪|肺功能测定仪|呼吸神经肌肉刺激仪|便携式肺功能 | 激光切割加工,佛山激光切割加工,钣金加工,机加工-佛山市华锐达金属制品有限公司 | 展馆展厅设计_数字多媒体展厅_3D全息投影_三维动画制作_企业宣传片|深圳市华南数字科技有限公司 斩天手游网_高质量手机游戏下载中心 | 久久91精品久久91综合_国产亚洲自拍一区_国产精品第1页_亚洲高清视频一区_91成人午夜在线精品_亚洲国产精品网站在线播放_亚洲国产成人久久综合区_国产精品亚洲专区在线观看_免费视频精品一区二区三区 | 内蒙古天奇生物科技有限公司——OEM代工|ODM定制|原料供应|骨肽|片剂|胶囊剂|口服液 | 济宁山银煤矿机械有限公司,钻采工具,防爆电器,凿岩机械,风动工具,矿山机械,建筑机械,支护设备,通风防尘,铁路设备,仪器仪表,大型设备,矿用泵,钎具类,消防类,矿车类,配件区类 | 苏州注册公司-代理工商注册-苏州及财企业服务有限公司 | 中山电子控制板|中山工业控制板|中山市云禾电子科技有限公司 | 泊头市特种油泵阀制造有限公司 - 渣油泵,重油泵,沥青泵,高压齿轮泵,煤焦油泵,导热油泵,三螺杆泵,圆弧齿轮泵,不锈钢齿轮泵, | 联塑管代理,联塑管厂家批发,中财管总代理,康泰管代理,康泰管厂家批发-邯郸市中枢贸易有限公司 | 扬州华工电气有限公司|环氧树脂管|金刚石绝缘板|U型绝缘槽|电解槽绝缘材料 | 九洲集团官网(300040)—哈尔滨九洲集团股份有限公司 | 河北新鑫矿冶设备有限公司-河北新鑫矿冶设备有限公司 | 水热反应釜厂家_水热反应釜价格_水热合成反应釜批发-仪贝尔仪器 - 水热釜,水热反应釜,水热反应釜厂家,水热反应釜价格,水热反应釜型号,水热反应釜内衬,水热反应釜25ml,水热反应釜50ml,水热反应釜100ml,水热合成反应釜 | 汽车漆品牌|家具漆代理|涂料加盟厂家|家具漆|汽车漆-邦派漆官网 汽车漆|汽车油漆|工业油漆涂料|汽车漆加盟-佛山市科涂涂料有限公司 | 停车场收费管理系统,通道闸系统,门禁系统,东莞停车场收费管理系统,东莞通道闸系统,-东莞市骄阳交通设备有限公司 | 惠州清洁公司|惠州保洁公司|惠州清洁|惠州保洁|惠州清洁服务|惠州保洁服务|壹壹集团 |